KOGANEI小金井FPD用電動CT泵

小金井FPD用電動CT泵詳細分析報告

一、產(chǎn)品概述

小金井FPD用電動CT泵是日本KOGANEI（小金井）公司專為平板顯示器（FPD）制造設計的精密泵，主要用于液晶（LCD）、等離子顯示板（PDP）、有機EL等基板用狹縫涂布機中，實現(xiàn)光刻膠、純水及藥液的高精度均勻涂抹。其核心優(yōu)勢在于：

高精度定量吐出：通過步進電機驅動，實現(xiàn)流量精準控制，吐出量重復精度達±1% F.S.。

低發(fā)塵與除泡性：接液部采用氟樹脂（PTFE）材料，無滑動結構，減少粒子產(chǎn)生，適合無塵環(huán)境。

結構簡單可靠：無需日常維護，適用于半導體晶片微細化工藝。

二、技術參數(shù)

參數(shù)規(guī)格

類型電動CT泵（F-EPT系列），如F-EPT30型、F-EPT60型等

最大吐出量30ml、60ml、100ml、200ml、300ml（可根據(jù)基板尺寸選擇）

最大吐出壓力0.05MPa至0.15MPa（具體取決于型號）

吐出量精度±1% F.S.（滿量程）

使用流體光刻膠、純水、藥液（不可燃性物質(zhì)）

驅動方式步進電機驅動，配套控制器單元實現(xiàn)流量控制

接液部材料氟樹脂（PTFE），耐腐蝕且低發(fā)塵

三、應用場景

FPD制造核心工藝

狹縫涂布機：用于基板表面光刻膠的均勻涂抹，確保涂膜厚度一致性。

微細化半導體晶片：適配下一代半導體工藝，滿足高精度流體控制需求。

環(huán)境要求

潔凈室環(huán)境：需在無塵車間使用，避免塵埃污染影響涂布質(zhì)量。

流體限制：嚴禁使用可燃性物質(zhì)，防止安全隱患。

KOGANEI小金井FPD用電動CT泵